Ruhr Universität Bochum Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik [Unterauftrag]

Die Ruhr-Universität Bochum ist eine der 10 größten Volluniversitäten in Deutschland und am südlichen Rand des Ruhrgebiets gelegen.

Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik der Ruhr-Universität Bochum befasst sich mit der Erforschung von Mikroaktoren und Sensoren sowie der Mikro-Nano-Integration auf Basis von 2D-Materialien und selbstorganisierenden Nanostrukturierungsprozessen. Es steht ein 600 m2 großer Reinraum zur Verfügung, in dem die Basisprozesse für Si-basierte MEMS und 2D-Materialien vorhanden sind. Es besteht eine interdisziplinäre Zusammenarbeit in den fakultätsübergreifenden Forschungsclustern „Materials Research Department“ und dem „Research Department Plasmas with Complex Interactions“. Der Lehrstuhl ist auch Standort des BMBF-geförderten Forschungslabors Mikroelektronik Bochum für 2D-Elektroniksysteme.

Die Ruhr-Universität Bochum ist eine der 10 größten Volluniversitäten in Deutschland und am südlichen Rand des Ruhrgebiets gelegen. Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik der Ruhr-Universität Bochum befasst sich mit der Erforschung von Mikroaktoren und Sensoren sowie der Mikro-Nano-Integration auf Basis von 2D-Materialien und selbstorganisierenden Nanostrukturierungsprozessen. Es steht ein 600 m2 großer Reinraum zur Verfügung, in dem die Basisprozesse für Si-basierte MEMS und 2D-Materialien vorhanden sind. Es besteht eine interdisziplinäre Zusammenarbeit in den fakultätsübergreifenden Forschungsclustern „Materials Research Department“ und dem „Research Department Plasmas with Complex Interactions“. Der Lehrstuhl ist auch Standort des BMBF-geförderten Forschungslabors Mikroelektronik Bochum für 2D-Elektroniksysteme.

Die Ruhr-Universität Bochum ist eine der 10 größten Volluniversitäten in Deutschland und am südlichen Rand des Ruhrgebiets gelegen.

Der Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik der Ruhr-Universität Bochum befasst sich mit der Erforschung von Mikroaktoren und Sensoren sowie der Mikro-Nano-Integration auf Basis von 2D-Materialien und selbstorganisierenden Nanostrukturierungsprozessen. Es steht ein 600 m2 großer Reinraum zur Verfügung, in dem die Basisprozesse für Si-basierte MEMS und 2D-Materialien vorhanden sind. Es besteht eine interdisziplinäre Zusammenarbeit in den fakultätsübergreifenden Forschungsclustern „Materials Research Department“ und dem „Research Department Plasmas with Complex Interactions“. Der Lehrstuhl ist auch Standort des BMBF-geförderten Forschungslabors Mikroelektronik Bochum für 2D-Elektroniksysteme.

Projektbeteiligungen

  • PaSiC

    Silicium-Keramik-Hybridsubstrat als Integrationsplattform für photoakustische und optische Anwendungen

    Silicium-Keramik-Hybridsubstrat als Integrationsplattform für photoakustische und optische Anwendungen